 | |||
| |||
| Имена | |||
|---|---|---|---|
| Название ИЮПАК трихлорсилан | |||
| Другие названия силилтрихлорид, силикохлороформ | |||
| Идентификаторы | |||
3D модель ( JSmol ) | |||
| ChemSpider | |||
| ECHA InfoCard | 100.030.026  | ||
| Номер ЕС |
| ||
PubChem CID | |||
| Номер RTECS |
| ||
| UNII | |||
| Номер ООН | 1295 | ||
Панель управления CompTox ( EPA ) | |||
| |||
| |||
| Характеристики | |||
| HCl 3 Si | |||
| Молярная масса | 135,45 г / моль | ||
| Появление | бесцветная жидкость | ||
| Плотность | 1,342 г / см 3 | ||
| Температура плавления | -126,6 ° С (-195,9 ° F, 146,6 К) | ||
| Точка кипения | 31,8 ° С (89,2 ° F, 304,9 К) | ||
| гидролиз | |||
| Опасности | |||
| Паспорт безопасности | ICSC 0591 | ||
Классификация ЕС (DSD) (устарела) | Легковоспламеняющееся ( F + ) Вредное ( Xn ) Коррозионное ( C ) | ||
| R-фразы (устаревшие) | R12 , R14 , R17 , R20 / 22 , R29 , R35 | ||
| S-фразы (устаревшие) | (S2) , S7 / 9 , S16 , S26 , S36 / 37/39 , S43 , S45 | ||
| NFPA 704 (огненный алмаз) |  3 4 2 W | ||
| точка возгорания | -27 ° С (-17 ° F, 246 К) | ||
самовоспламенения температуру | 185 ° С (365 ° F, 458 К) | ||
| Пределы взрываемости | 1,2–90,5% | ||
| Родственные соединения | |||
Родственные хлорсиланы | Хлорсилан Дихлорсилан Дихлорметилсилан Хлородиметилсилан Тетрахлорид кремния | ||
Родственные соединения | Trifluorosilane трибромсилан Хлороформ | ||
Если не указано иное, данные приведены для материалов в их стандартном состоянии (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа). | |||
 проверить ( что есть ?)  | |||
| Ссылки на инфобоксы | |||
Трихлорсилан представляет собой неорганическое соединение с формулой HCl 3 Si. Это бесцветная летучая жидкость. Очищенный трихлорсилан является основным предшественником сверхчистого кремния в полупроводниковой промышленности. В воде он быстро разлагается с образованием силиконового полимера с выделением соляной кислоты . Из-за его реакционной способности и широкой доступности он часто используется в синтезе кремнийсодержащих органических соединений. [1]
Производство [ править ]
Трихлорсилан получают путем обработки порошкового металлургического кремния продувкой хлористым водородом при 300 ° C. Также производится водород, как описано в химическом уравнении :
- Si + 3 HCl → HCl 3 Si + H 2
Может быть достигнута урожайность 80-90%. Основными побочными продуктами являются тетрахлорид кремния ( химическая формула SiCl 4 ), гексахлордисилан (Si 2 Cl 6 ) и дихлорсилан (H 2 SiCl 2 ), от которых трихлорсилан можно отделить перегонкой .
- Цистерна с трихлорсиланом (синий ромб означает «Опасно при намокании»).
Он также производится из тетрахлорида кремния: [2]
- Si + 3 SiCl 4 + 2 H 2 → 4 HCl 3 Si
Приложения [ править ]
Трихлорсилан - основной ингредиент, используемый при производстве очищенного поликремния .
- HCl 3 Si → Si + HCl + Cl 2
Ингредиент в гидросилилировании [ править ]
Посредством гидросилилирования трихлорсилан является предшественником других полезных кремнийорганических соединений:
- RCH = CH 2 + HSiCl 3 → RCH 2 CH 2 SiCl 3
Некоторые полезные продукты этой или подобных реакций включают октадецилтрихлорсилан (OTS), перфтороктилтрихлорсилан (PFOTCS) и перфтордецилтрихлорсилан (FDTS). Эти реагенты используются в науке о поверхности и нанотехнологиях для образования самоорганизующихся монослоев . Такие слои, содержащие фтор, уменьшают поверхностную энергию и уменьшают прилипание. Этот эффект обычно используется в качестве покрытия для МЭМС и микроизготовленных штампов для литографии наноимпринтов (NIL) и в инструментах для литья под давлением . [3]
Органический синтез [ править ]
Трихлорсилан является реагентом для превращения бензойных кислот в производные толуола. На первой стадии двухреакторной реакции карбоновая кислота сначала превращается в трихлозилилбензильное соединение. На второй стадии производное бензильного силила превращается в производное толуола с помощью основания. [4]
Ссылки [ править ]
- ^ Ляньхун Сюй, Рави Курукуласурия, «Трихлорсилан» Энциклопедия реагентов для органического синтеза, 2006. doi : 10.1002 / 047084289X.rt213.pub2
- ^ Simmler, W. "Соединения кремния, неорганические". Энциклопедия промышленной химии Ульмана . Вайнхайм: Wiley-VCH. DOI : 10.1002 / 14356007.a24_001 .
- ^ Чех J, Табориски R (2012). «Стабильность однослойного покрытия FDTS на алюминиевых инструментах для литья под давлением». Прикладная наука о поверхности . 259 : 538–541. Bibcode : 2012ApSS..259..538C . DOI : 10.1016 / j.apsusc.2012.07.078 .
- ^ Джордж С. Ли, Дэвид Ф. Элер, Р. А. Бенкесер "Метильные группы восстановлением ароматических карбоновых кислот трихлорсиланом - три-н-пропиламин: 2-метилбифенил" Орг. Synth. 1977, том 56, с. 83. doi : 10.15227 / orgsyn.056.0083
- Полупроводники: Кремний: Субстрат Производство: поликристаллический кремний Производство
