Измерение линии передачи или измерение длины передачи - это метод, используемый в физике и технике полупроводников для определения контактного сопротивления между металлом и полупроводником. Этот метод включает создание серии контактов металл-полупроводник, разделенных разным расстоянием. [1] [2]
Общее описание
Щупы прикладываются к парам контактов, и сопротивление между ними измеряется путем приложения напряжения к контактам и измерения результирующего тока . Ток течет от первого зонда к металлическому контакту, через переход металл-полупроводник , через лист полупроводника, снова через переход металл-полупроводник (за исключением этого раза в другом направлении), во второй контакт и от во второй зонд и во внешнюю цепь для измерения амперметром . Измеренное сопротивление представляет собой линейную комбинацию (сумму) контактного сопротивления первого контакта, контактного сопротивления второго контакта и поверхностного сопротивления полупроводника между контактами.
Когда несколько таких измерений выполнены между парами контактов , которые отделены друг от друга различных расстояниях, А участок от сопротивления по сравнению с расстоянием между разомкнутыми контактами могут быть получены. Размыкание контактов может быть выражено в терминах отношения L / W - , где L и W являются длина и ширина области между контактами - такой сюжет должен быть линейным , с наклоном от линии , являющейся сопротивление листа . Перехват линии с осью у , в два раза контактного сопротивления. Таким образом, с помощью этого метода можно определить сопротивление листа, а также сопротивление контакта.
Рекомендации
дальнейшее чтение
- Гэри Таттл, кафедра электротехники и вычислительной техники, Университет штата Айова. «Контактное сопротивление и измерения TLM» (PDF) .CS1 maint: несколько имен: список авторов ( ссылка )