| Имена | |
|---|---|
| Название ИЮПАК Дисилицид титана | |
| Другие имена Силицид титана | |
| Идентификаторы | |
3D модель ( JSmol ) | |
| ECHA InfoCard | 100.031.719  |
| Номер ЕС |
|
PubChem CID | |
Панель управления CompTox ( EPA ) | |
| |
| |
| Характеристики | |
| TiSi 2 | |
| Молярная масса | 104,038 г / моль |
| Внешность | черные ромбические кристаллы |
| Плотность | 4,02 г / см 3 |
| Температура плавления | 1470 ° С (2680 ° F, 1740 К) |
| нерастворимый | |
| Растворимость | растворим в HF |
| Опасности | |
| Пиктограммы GHS |   |
| Сигнальное слово GHS | Предупреждение |
| H228 , H315 , H319 , H335 | |
| Р210 , Р240 , Р241 , Р261 , Р264 , Р271 , Р280 , Р302 + 352 , Р304 + 340 , P305 + 351 + 338 , P312 , P321 , P332 + 313 , P337 + 313 , P362 , P370 + 378 , P403 + 233 , P405 , P501 | |
| Родственные соединения | |
Другие катионы | Дисилицид циркония Дисилицид гафния |
Если не указано иное, данные приведены для материалов в их стандартном состоянии (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа). | |
 проверить ( что есть ?)  | |
| Ссылки на инфобоксы | |
Дисилицид титана ( Ti , Si , 2 ) представляет собой неорганическое химическое соединение из титана и кремния .
Подготовка [ править ]
Дисилицид титана может быть получен реакцией между титаном или гидридом титана с кремнием. [2]
- Ti + 2 Si → TiSi 2
Его также можно получить алюмотермическим способом путем воспламенения алюминиевого порошка , серы , диоксида кремния и диоксида титана или гексафторотитаната калия, K 2 TiF 6 , путем электролиза расплава гексафторотитаната калия и диоксида титана или реакцией титана с тетрахлорид кремния . [2]
Другой метод - это взаимодействие тетрахлорида титана с силаном , дихлорсиланом или кремнием. [3]
- TiCl 4 + 2 SiH 4 → TiSi 2 + 4 HCl + 2 H 2
- TiCl 4 + 2 SiH 2 Cl 2 + 2 H 2 → TiSi 2 + 8 HCl
- TiCl 4 + 3 Si → TiSi 2 + SiCl 4
Использует [ редактировать ]
Силицид титана используется в полупроводниковой промышленности. Обычно его выращивают с помощью технологии салицида на линиях кремния и поликремния, чтобы уменьшить сопротивление слоев локальных соединений транзисторов. В микроэлектронной промышленности он обычно используется в фазе C54.
Ссылки [ править ]
- ^ Лиде, Дэвид Р. (1998), Справочник по химии и физике (87 изд.), Бока-Ратон, Флорида: CRC Press, стр. 4–91, ISBN 0-8493-0594-2
- ^ a b Брауэр, Георг (1978). Handbuch der Präparativen Anorganischen Chemie, Band II . Бодлер, Марианна (3-е изд.). Штутгарт: Энке. п. 1389. ISBN 978-3-432-87813-3. OCLC 310719490 .
- ^ Пирсон, Хью О. (1999). Справочник по химическому осаждению из паровой фазы: принципы, технология и применение (2-е изд.). Норидж, Нью-Йорк: Публикации Нойес. п. 331. ISBN. 1-59124-030-1. OCLC 49708617 .
