| Имена | |
|---|---|
| Название ИЮПАК Дисилицид вольфрама | |
| Идентификаторы | |
3D модель ( JSmol ) | |
| ECHA InfoCard | 100.031.723  |
PubChem CID | |
Панель управления CompTox ( EPA ) | |
| |
| |
| Характеристики | |
| WSi 2 | |
| Молярная масса | 240,011 г / моль |
| Внешность | сине-серые тетрагональные кристаллы |
| Плотность | 9,3 г / см 3 |
| Температура плавления | 2160 ° С (3920 ° F, 2430 К) |
| нерастворимый | |
| Опасности | |
| NFPA 704 (огненный алмаз) | |
| точка возгорания | Негорючий |
| Родственные соединения | |
Другие анионы | Карбид вольфрама Нитрид вольфрама |
Другие катионы | Дисилицид молибдена |
Если не указано иное, данные приведены для материалов в их стандартном состоянии (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа). | |
 проверить ( что есть ?)  | |
| Ссылки на инфобоксы | |
Силицида вольфрама ( WSi 2 ) представляет собой неорганическое соединение, силицид из вольфрама . Это электропроводящий керамический материал.
Химия [ править ]
Силицид вольфрама может бурно реагировать с такими веществами, как сильные кислоты , фтор , окислители и интергалогены .
Приложения [ править ]
Используется в микроэлектронике в качестве контактного материала с удельным сопротивлением 60–80 мкОм см; он образуется при 1000 ° C. Его часто используют в качестве шунта над линиями поликремния для увеличения их проводимости и увеличения скорости сигнала. Слои силицида вольфрама могут быть получены путем химического осаждения из паровой фазы , например, с использованием моносилана или дихлорсилана с гексафторидом вольфрама в качестве исходных газов. Осажденная пленка нестехиометрическая и требует отжига для преобразования в более проводящую стехиометрическую форму. Силицид вольфрама является заменой более ранних пленок вольфрама. [2]Силицид вольфрама также используется в качестве барьерного слоя между кремнием и другими металлами, например вольфрамом.
Силицид вольфрама также имеет ценность для использования в микроэлектромеханических системах , где он в основном применяется в виде тонких пленок для изготовления микросхем микромасштабов. Для таких целей пленки силицида вольфрама можно травить в плазме с использованием, например, газообразного трифторида азота .
WSi 2 хорошо подходит для применения в качестве стойких к окислению покрытий. В частности, подобно дисилициду молибдена MoSi 2 , высокая излучательная способность дисилицида вольфрама делает этот материал привлекательным для высокотемпературного радиационного охлаждения , что может иметь последствия для тепловых экранов . [3]
Ссылки [ править ]
Эта статья требует дополнительных ссылок для проверки . ( май 2009 г. ) ( Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения ) |
- ^ Лиде, Дэвид Р. (1998), Справочник по химии и физике (87 изд.), Бока-Ратон, Флорида: CRC Press, стр. 4–91, ISBN 0-8493-0594-2
- ^ "Архивная копия" . Архивировано из оригинала на 2001-09-07 . Проверено 19 августа 2007 .CS1 maint: заархивированная копия как заголовок ( ссылка )
- ^ Покрытия с высоким коэффициентом излучения на волокнистой керамике для многоразовых космических систем Наука о коррозии 2019
