Из Википедии, бесплатной энциклопедии
Перейти к навигации Перейти к поиску

Трисилан - это силан с формулой H 2 Si (SiH 3 ) 2 . Жидкость при стандартной температуре и давлении, кремниевый аналог пропана . В отличие от пропана, трисилан самовоспламеняется на воздухе. [1]

Синтез [ править ]

Трисилан охарактеризовал Альфредом Штоком, который получил его реакцией соляной кислоты и силицида магния . [2] [3] Эта реакция была исследована еще в 1857 году Фридрихом Вёлером и Генрихом Баффом, а в дальнейшем исследована Анри Муассаном и Сэмюэлем Смайлсом в 1902 году. [1]

Разложение [ править ]

Ключевым свойством трисилана является его термолабильность. Он разлагается до кремниевых пленок и SiH 4 в соответствии с этим идеализированным уравнением:

Si 3 H 8 → Si + 2 SiH 4

С точки зрения механизма, это разложение происходит за счет сдвига водорода 1,2, который дает дисиланы, нормальные и изотетрасиланы, а также нормальные и изопентасиланы. [4]

Поскольку он легко разлагается, оставляя пленки Si, трисилан был исследован как средство нанесения тонких слоев кремния для полупроводников и аналогичных приложений. [5] Точно так же термолиз трисилана дает кремниевые нанопроволоки. [6]

Ссылки [ править ]

  1. ^ a b П. В. Шенк (1963). «Силаны». В Г. Брауэре (ред.). Справочник по препаративной неорганической химии, 2-е изд . 1 . Нью-Йорк, Нью-Йорк: Academic Press. п. 680.
  2. ^ Сток, Альфред; Сомиески, Карл (1916). "Siliciumwasserstoffe. I. Die aus Magnesiumsilicid und Säuren entstehenden Siliciumwasserstoffe" . Berichte der Deutschen Chemischen Gesellschaft . 49 : 111–157. DOI : 10.1002 / cber.19160490114 .
  3. ^ Сток, Альфред; Стибелер, Пол; Зейдлер, Фридрих (1923). "Siliciumwasserstoffe, XVI .: Die höheren Siliciumhydride". Berichte der Deutschen Chemischen Gesellschaft (серии A и B) . 56 (7): 1695–1705. DOI : 10.1002 / cber.19230560735 .
  4. ^ Vanderwielen, AJ; Кольцо, Массачусетс; О'Нил, HE (1975). «Кинетика термического разложения метилдисилана и трисилана». Журнал Американского химического общества . 97 (5): 993–998. DOI : 10.1021 / ja00838a008 .
  5. ^ Публикация патентной заявки США. Pub No. US 2012/0252190 A1, OCT, 4, 2012. Zehavi et al.
  6. ^ Heitsch, Эндрю Т .; Fanfair, Dayne D .; Туан, Синь-Ю; Коргель, Брайан А. (2008). "Раствор-жидкость-твердое тело (SLS) рост кремниевых нанопроволок". Журнал Американского химического общества . 130 (16): 5436–5437. DOI : 10.1021 / ja8011353 . PMID 18373344 .